SERVOPRO NanoChrome是适用于半导体行业的一种高性能分析仪,在包括He、H2、 N2、Ar和 O2等广泛常见的背景气中测量超微量H2、CH4、CO2、N2 、CO 、Ar 以及 NMHC。
采用先进的仕富梅专门开发的新型等离子发射光谱检测器(PED)传感技术和propeak软件,NanoChrome在性能方面超过传统的火焰离子化检测器(FID)和还原气体检测器(RGD),在传感技术的安全性和稳定性,降低成本的能力方面具有相当大的优势。
仕富梅的先进的信号矫正技术使用propeak滤波技术提供一个高灵敏度、高选择性 ,你可以信赖的测量。
当与仕富梅的DF-500超微量氧和DF-700微量水分析仪共同使用,NANOchrome能够成为超高纯气体监测独一无二的成套解决方案。
创新的高灵敏度的等离子体发射探测器(PED)可以测量超微量Ar、N2、H2、CH4和CO2,CO,和NMHC。
propeak峰值检测技术使测量具有前所未有的灵敏度。
直接分析法消除了FID和RGD测量的不确定性。
在一个广泛包括He、H2、N2、 Ar、NMHC、Ar和O2等广泛常见的背景气中测量超微量H2、CH4、CO2、N2 、CO等气体的全面的解决方案。
当结合DF-500和DF-700分析仪可以成为一个完全独立的超高纯气体分析的解决方案。
可以远程访问的数字通信配置:互联网/以太网以及RS232。
监控软件综合了为充分色谱图,处理结果,统计和历史记录。
内部稀释系统选项易燃气体燃料没有要求,提高安全性和简化安装。
非消耗的传感器和智能软件延长了校准的间隔。
不需要甲烷转化器或消耗的燃料气。
成本效益和简单的长期维护工作。
半导体生产装置-质量控制
半导体生产装置-静态分析系统
规范:
In compliance with Low Voltage, EMC and applicable Directives
认证:
In compliance with EMC Directives, rated for Overvoltage Category II and Pollution Degree 2
尺寸:482mm (18.9”) Wide x 117mm (4.6”) High x 600mm (23.6”) Deep
重量:11-27kg (25-60lb) applications dependent
010-88572008
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